Manipulator vakum digunakan untuk memindahkan atau memposisikan wafer atau benda di ruang vakum khusus dan untuk aplikasi penanganan material. Mereka memberikan peningkatan fleksibilitas karena tautan kaku tidak digunakan. Beberapa manipulator vakum menyertakan perangkat pemasangan atau efektor akhir. Lainnya termasuk kunci beban dan tongkat goyangan. Seringkali, manipulator vakum digunakan bersama dengan ruang vakum. Pengendali atau robot wafer adalah jenis manipulator vakum otomatis untuk memindahkan wafer atau substrat ke dalam atau keluar dari PVD, CVD, etsa plasma, atau ruang pemrosesan vakum lainnya. Untuk membuat ruang vakum, motor vakum atau motor dalam vakum secara fisik memompa udara dari bejana hingga tekanan sub-atmosfer yang diinginkan tercapai. Jika ruang vakum berisi vakum ultra-tinggi, maka manipulator vakum ultra-tinggi dan motor vakum ultra-tinggi harus digunakan.
1. Desain pengisap yang unik dapat membuat benda naik atau turun sesuka hati, tetapi juga berputar ke segala arah dari dudukan pengisap yang tetap untuk membuat pengoperasian menjadi nyaman dan akurat. Desain kendali jarak jauh menghadirkan kemudahan pengoperasian dan menjamin keselamatan pengguna.
2. Penjepit mesin hisap vakum mengadopsi pelat hisap impor, dengan kekuatan adsorpsi yang kuat, keamanan tinggi dan perlindungan produk dari kerusakan.
3. Derek vakum dapat dengan mudah membawa barang dengan permukaan yang rapuh, sulit diangkat, dan halus untuk meningkatkan efisiensi, mengurangi tenaga kerja, dan menghemat biaya perusahaan.